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半導(dǎo)體行業(yè)—元器件/密封件密封性檢測(cè)解決方案

方案概述

用于電子元器件/密封件檢漏,方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質(zhì)譜檢漏儀組成

方案優(yōu)勢(shì)

性能優(yōu)越

性能優(yōu)越

最小可檢漏率低,靈敏度高,檢測(cè)量程達(dá)到12級(jí)
自動(dòng)清氦

自動(dòng)清氦

獨(dú)特的氣路設(shè)計(jì),提高了對(duì)氦的抽速,縮短了清氦本底時(shí)間,有效防止氦污染
智能化生產(chǎn)

智能化生產(chǎn)

智能故障提示及報(bào)警功能
方案構(gòu)成

方案構(gòu)成

用于電子元器件/密封件檢漏,方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質(zhì)譜檢漏儀組成

行業(yè)應(yīng)用

華為科技有限公司

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中國(guó)電子科技集團(tuán)第三十八研究所

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